东芝开发新一代氢传感器

据国外网站报道：东芝公司目前开发出新型氢气传感器。与传统氢传感器相比，该新型氢气传感器探测速度相当，但消耗功率不到传统氢传感器的1%。新型传感器是基于东芝自主研发的微电化学系统（MEMS）结构，使用钯基金属玻璃实现快速探测和低功率消耗。据悉，该传感器可以在半导体生产线上制造，实现低成本大批量生产。该技术的相关细节于6月20日在台湾举行的2017年传感器国际会议上发布。

发展背景

为应对全球气候变化实现低碳氢能社会，氢能相关科技近几年发展迅猛。然而，氢气的可燃性应引起足够的重视，一旦泄露需要立即探测到。以电池为电源的探测器就是承担这一职责，需要实时检测并快速响应，同时消耗尽可能低的功率。目前常规的氢气探测器内部需要加热以探测氢气，因而消耗功率较高。此外，为了实现氢气探测器的快速响应，内部的加热器需要频繁启动，进一步增加了所需消耗的功率。

新技术的特点

东芝集团目前开发了基于传统MEMS结构并配以钯基金属玻璃的新型探测器，实现了氢气探测所要求的快速响应和低能耗。因为其内部不需要频繁加热，该探测器的消耗功率在100μW左右，不到传统氢气探测器消耗功率的1%。

钯是常见的储氢材料，但需要较长的时间与氢气结合，同时在释放氢气时需要热量。采用非晶态钯基金属合金代替传统钯金属，可以更为有效地抑制氢键结合并实现在几秒内探测氢气，这一探测时间与传统的传感器探测时间相近。新型传感器可以在半导体生产线上制造，许多传感器可以集成在一块晶片上，使得低成本大规模生产成为可能。、

未来发展、计划和目标

东芝集团未来会继续发展并精简传感器结构、优化工艺流程，最终在2020年满足商业化大规模生产需求，如用于燃料电池车、加氢站等。